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超臨界流體清洗-Supercritical CO₂ Cleaning
最新消息 - 2025/9/23
超臨界流體清洗
Supercritical CO₂ Cleaning
🔹 介紹
超臨界二氧化碳（Supercritical CO₂）同時具備液體的高溶解能力（Solvent Power）與氣體的低黏度及高擴散性。
早期應用多集中於食品或天然物的萃取，以取代傳統有機溶劑，提升產品安全性與環保性。
隨後，憑藉其優異的擴散性能，逐漸被導入土壤修復與精密機械零件清洗等領域。
近年來，受惠於其低溫製程特性，超臨界二氧化碳亦被應用於不適合高溫滅菌的醫療器材處理，如內視鏡與人體植入物等。
隨著高潔淨度二氧化碳的可取得性提升，以及相關設備與技術的進步，超臨界二氧化碳已逐步導入半導體製程。藉由取代傳統濕式製程，不僅能有效降低製程用水量，亦可避免液體滲入微細結構，進一步提升製程良率與元件可靠性。
🔹 超臨界 CO₂ 清洗特點
- 減少化學品及用水需求
- 低表面張力，高擴散性，穿透性佳，保護微細結構
- 適用於金屬微粒、有機污染物及殘留光阻的去除
- 低溫製程，適合醫療與高精密應用
- 環境友善，替代傳統有機溶劑
🔹 結語
超臨界二氧化碳清洗技術，結合了環保、安全與高效能，不僅適合傳統清洗無法勝任的高精密產業，亦能為半導體、光電與醫療器材領域提供創新解決方案。
有興趣相關製程及運用歡迎您來信sales@cae.url.tw或直接按此留言，
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